|
|
РС - сплавы, ЕТО.021.048 ТУ.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- Сплавы кремниевые резистивные 1004, 3001, 3710, 5402, 4400, 5406
- Низкодисперсный порошок 0,04-0,07 мм
- Применяются для получения тонкопленочных резисторов, обладающих высокой износоустойчивостью, коррозионной стойкостью, хорошей адгезией с ТКС близким к нулю, работающих при температурах до 400oС
- Удельное сопротивление - 0,5-5000 Ом/сm
3
- Нанесение - вакуумтермическое испарение "взрывным" способом, путем равномерной и постепенной подачи небольших количеств порошка сплава на испаритель, раскаленный до 1800-2000 oС
- Толщина Аo - 150-3000
- Испаритель вольфрамовый или углеграфитовый
- Изготовление резисторов возможно масочным способом и методом фотолитографии
- Мощности рассеивания - 2-5 Вт/см2
- Параметры распыления - в инструкции по эксплуатации оборудования, позволяющему распыление вакуумтермическим "взрывным" способом.
|
|
